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本文件規(guī)定了微機電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器性能檢測的試驗條件、檢測方法及檢測報告。 本文件適用于微機電系統(tǒng)半導(dǎo)體氣體傳感器的性能檢測。